内面粗度保証値(EP仕様の場合)
外径
3.18mm≦OD≦12.70mm:≦Rmax 0.5μm Ave.
12.70mm≦OD≦25.40mm:≦Rmax 0.7μm Ave.
PJ継手の溶接部形状は、
TBW(TUBE BUTT WELD)に対応しています。
1. TBW TYPE
近年の超高純度配管に採用されている
自動TIG溶接機による突き合わせ溶接に
最適の形状としました。
特殊研磨加工により、
平滑で内外径に面取り部がありません。
精密機械加工と徹底した品質管理により、
極めて安定した精度の肉厚・真円度で
お届けします。
PRIMETにより製造されたSUPER CLEAN SEAMLESS EP TUBEは、清浄度、耐腐食性向上、内面処理工場(以下)、放出ガス、パーティクル低減など、超高純度ガス供給ラインに必要な条件を備えており、半導体製造プロセスの高性能化に大きく貢献いたします。
外径
3.18mm≦OD≦12.70mm:≦Rmax 0.5μm Ave.
12.70mm≦OD≦25.40mm:≦Rmax 0.7μm Ave.